所謂無塵車間是一個(gè)人造環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成店里的級(jí)數(shù)的快速成長,也增加了對(duì)制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,集成店里積度不斷增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成店里制造不可或缺的要素。
濰坊無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫
度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而
所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要
求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
工作人員產(chǎn)生的污染:
1)皮膚:人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換,人類每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為
30*60*3微米)
2)頭發(fā):人類的頭發(fā)(直徑約為50~100微米)一直在脫落。
3)口水:包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4)日常衣物:微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌。
5)人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。
6)人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
7)人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。